薄膜分析

薄膜分析涵蓋了各種可能出現的情況,這將會強烈地影響到分析技術的選擇:

  • 薄膜厚度範圍可以從幾 Å(10-10m)到 µm(10-6m)範圍,最高能達到 mm(10-3m)。
  • 因為技術的不同,測量的靈敏度也會有所不同,範圍從at%到ppb。
  • 橫向分析區域的大小可能是無限,或者也可能會受到非常大的限制。

一般情況下,可以使用兩種方法來分析薄膜:垂直方向,從上往下或從底向上;或水平方向的橫截面。

在表面由頂往下的分析會提供粗糙度、形態、表面成分和污染物資訊。隨後濺射可以發現更多的資訊,例如厚度、成分、摻雜劑和污染物程度。橫截面的分析則可以展示厚度、晶粒度和結晶度。

薄膜分析