SIMS理論

簡介

使用一次離子束轟擊樣品表面,接著發射二次離子的質譜,構成二次離子質譜(SIMS)。

最佳的SIMS參考書目是二次離子質譜法:基本概念、儀器層面、應用和趨勢,作者:A. Benninghoven, F. G. Rüdenauer, and H. W. Werner, Wiley,紐約, 1987 (1227 頁)。