SIMS儀器

SIMS歷史

使用一次離子束轟擊樣品表面,接著測定發射的二次離子質譜構成二次離子質譜(SIMS)。

當早期質譜測定專家們注意到儀器建造材料的離子是來自離子源後,第一次出現了SIMS的模糊概念。後來,從離子源中提取離子並將它們加速傳送到樣品的實驗,產生第一個SIMS一次離子束。第一個SIMS設備是在1960年代初,由美國NASA建造,用來分析月球岩石。當它表現好於預期時,原型的精准拷貝機器就被引入市場。在接下來的30年,SIMS在材料特性方面的應用穩定增長。

SIMS可以測定元素週期表中所有元素的微量分析。SIMS還可以提供樣品中這些元素的橫向和深度分析(微量分析)。電子材料產業(半導體、光電設備等)是SIMS的最大用戶。地質領域也使用SIMS分析橫向分辨同位素和元素。