半導體

半導體EAG在半導體領域是世界一流的材料特性專家。EAG最初成立的目的是要為半導體行業提供分析服務,在整個發展過程中,我們始終飲水思源。我們的表面和塊材分析服務都致力於為客戶提供最好的資訊,為這個領域的客戶增加價值。

和材料特性部門同步,我們的微電子測試和工程部門支援原型設備中實現全規模生產的測試。

我們的表面和微觀分析技術在以下幾個方面是關鍵:

  • 開發新製程
  • 檢測正在進行中的製程
  • 縮短開發時間
  • 將製程轉移到生產
  • 確保起始原料的純度
  • 最新生產工具的資格
  • 解決良率降低的生產問題

半導體應用案例

  • 測量薄膜的厚度、密度和成分
  • 通過定量矽晶圓表面的金屬來評估清洗功效
  • 摻雜劑量和廓形的特性
  • 對半導體堆疊中的雜質痕量進行辨別和定位
  • 檢查IC的橫截面結構
  • 識別顆粒污染物
  • 鑑定矽晶圓的有機污染物
  • 視覺化薄膜形態
  • 識別晶圓陰霾和變色問題
  • 定量塊材的摻雜或雜質