表面形貌分析(Morphology & Topography)

形態學和地形學表面形貌分析(Morphology & Topography)中,Morphology是表面三維形狀的一種定性評估,而Topography則是提供定量的特性尺寸。分析技術的選擇取決於是否要求定性和/或定量的資訊。

Morphology

形態,或者“樣品看起來像什麼”,使用成像技術進行分析是最好的評估,例如光學顯微鏡或是掃描式電子顯微鏡(SEM)。這些方法也可以提供層厚以及其他的定量資訊。

Topography

形態學和地形學利用原子力顯微鏡(AFM)、探針式輪廓儀或者光學輪廓儀可以測定粗糙度、高度差和特性尺寸。