FTIR(傅立葉紅外光譜)

傅立葉轉換紅外線光譜學分析FTIR(傅立葉紅外光譜),是一種顯示分子振動的光譜,其目的是鑑定或辨別有機材料的特性,例如聚合物、潤滑劑、黏合劑和清洗劑。少數的無機化合物也可以使用FTIR來進行分析。對於半導體來說,FTIR用於定量測量在SiN中的氫鍵,以及測量Si塊材間隙中的氧含量。

在EAG,大部分的FTIR分析都是使用Microscope FTIR。Micro-FTIR,最小光點直徑為15µm,對於直接分析金屬表面的有機污染物是很理想的量測,例如焊盤或接點。對於非金屬表面上的污染識別物,如透鏡或其他光學組件,或用於分析有機材料的塊材,EAG 能對上述的樣品做專門的樣品製備。

傅立葉轉換紅外線光譜學分析EAG的分析科學家在應用FTIR解決各種有關有機材料或者有機污染物的問題方面有豐富的經驗和淵博的知識。他們會提供經驗、快速的處理時間、清晰簡潔的書面報告以及個人服務,幫助客戶解決相關的材料問題。

 

  • 鑑別有機污染物(例如顆粒和殘留物等等)
  • 鑑定或辨別有機材料的特性(例如,固體、粉末、薄膜或者液體)
  • 鑑定Si晶片中的O和H,以及SiN晶片中的H(Si-H vs. N-H)

偵測訊號: 紅外線吸收

偵測元素:分子團

偵測限制條件:0.1-1wt%

深度解析度:0.1-2.5µm

影像/mapping:

橫向解析度/偵測尺寸:大於等於15µm

  • 能夠鑑別有機官能基團,通常是特定的有機化合物
  • 鑑定化合物的豐富譜庫
  • 環境條件(非真空;適合揮發性化合物)
  • 典型的非破壞性分析
  • 最小分析面積:~15µm
  • 表面偵測靈敏度有限(典型的取樣量是~0.8µm)
  • 最小分析面積:~15µm
  • 提供有限的無機物資訊
  • 典型的非定量分析(需要標準片才能定量)
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