EDS(能量色散X-射線光譜)

能量分散X-射線光譜分析EDS(能量色散X-射線光譜)是一種可以與SEM(掃描電子顯微鏡),TEM(透射電子顯微鏡)和STEM(掃描透射電子顯微鏡)配合使用的分析技術。

當EDS和這些影像工具結合到一起時,可以提供直徑小至nm的區域進行元素分析。電子束對樣品的撞擊會產生樣品元素的特性X-射線,EDS分析可用於確定單點的元素成分,或者繪製出成像區域元素的橫向分布。

能量分散X-射線光譜分析

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  • 小面積成像和元素構成
  • 樣品缺陷中的元素鑑別/製圖

偵測訊號: 特性X-射線

偵測元素:B-U

偵測限制條件:0.1-1at%

深度解析度:0.5-3μm

影像/mapping:

橫向解析度/偵測尺寸:大於等於0.3μm

  • 快速,“初步”成分分析
  • 多功能、便宜,廣泛適用
  • 某些樣品定量分析(平坦、拋光和均勻)
  • 非平坦、拋光和均勻的樣品半定量
  • 對樣品尺寸的限制
  • 樣品必須和真空相容(不適合濕式有機材料)
  • 分析(和塗層)可能會破壞後續的表面分析
  • 對原子量較低的元素有較差的靈敏度
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