成份組成

成份分析主要是用於確認材料或者薄膜的成份以及主要組成的含量。

選擇分析方式的技巧主要取決於以下幾個因素:

  • 關於樣品我們已經瞭解多少?
  • 什麼樣的資訊需要進行量化(主要元素、微量元素、化學成份或者分子構成等等)?
  • 是否需要表面分析、塊材分析或者薄層分析?

表面分析

最好使用淺層深度(<100Å)資訊的量化技術來對元素和化學表面成份進行測量,例如Auger電子光譜或者X-射線光電子光譜。

塊材分析

最好是使用忽略表面成份變化並且帶有較大/較深資訊的技術來確定塊材成分,通常在這些方法中找不到具體的深度資訊。X射線螢光分析(XRF)和感應耦合電漿原子發射光譜(ICP-OES)是可以同時定量主要元素成分和微量元素成分中最具相關性的技術。

體相分析

薄層分析