Auger儀器

歷史

1923年,Pierre Auger發現當使用X射線照射樣品時會出現Auger過程和Auger電子。最初是由J. J. Lander在1953年提出利用電子激發Auger訊號進行表面分析。直到1967年,Larry Harris論證使用微分法來增強Auger訊號。這種發展會為有用的測量提供所需的靈敏度。早期的鑑別工具是使用模擬電路和鎖相放大器直接提供微分的光譜,但是更多現代儀器是直接獲得電子強度,並使用電腦顯示器運算法來提供微分的光譜。現今AES是表面、薄膜和界面最常用的成分分析方法。這個實用方法主要包含表面特性(0.5到10nm)、良好的橫向表面解析度(小至10nm)、整個週期表(除了氫和氦)以及合理的靈敏度(大部分的元素都是100ppm)。